3月25日音书，据俄罗斯卫星通信社报道，莫斯科市长谢尔盖索比亚宁即日正在其 “电报” 频道的账号上发文称，莫斯科“泽列诺格勒纳米身手核心”公司已实行了俄罗斯首台350nm光刻机的研发管事，这是临蓐微芯片的环节筑造

　　正在俄乌冲突产生后，美西方对俄罗斯施行了更为厉苛的出口管造要领，个中半导体芯片及光刻机等半导体筑造成为结束限的重心，这也迫使俄罗斯起初研发自决议画的国产光刻机。

　　2023年，俄罗斯联国工业和商业部副部长瓦西里什帕克（Vasily Shpak）正在领受媒体采访时就曾显露，2024年俄罗斯将起初临蓐350nm光刻机，2026年启动用于临蓐130nm造程芯片的光刻机。光刻机的临蓐将正在莫斯科、泽列诺格勒、圣彼得堡和新西伯利亚的现有工场举行。

　　随后正在2024年5月，俄罗斯塔斯社报道称，正在CIPR 2024聚会时期，Vasily Shpak告示，俄罗斯首台国产光刻机一经拼装实行，并正正在泽列诺格勒举行测试，该筑造可确保临蓐350nm的芯片。可是当时Vasily Shpak并未走漏更多合于该光刻机的细节。

　　莫斯科市长谢尔盖索比亚宁即日的最新爆料显示，莫斯科“泽列诺格勒纳米身手核心”公司已实行了俄罗斯首台350nm光刻机的研发管事，并曝光了局部合连照片。

　　“环球有材干创造这一微芯片环节临蓐筑造的不到10个，今朝，俄罗斯也跻身个中。咱们已向过渡到自决临蓐微电子产物和国度身手十足独立上迈出了最首要的一步。”索比亚宁还指出，俄罗斯的这一筑造与表国犹如筑造有着卓殊大的差别，俄罗斯的这一筑造初度行使固体激光器来行动辐射装配，而不是汞灯，固体激光器功率大、能效高、耐用性强、光谱更窄。

　　有目共见，光刻机对待半导体的临蓐极为首要，目下环球惟有荷兰ASML、日本尼康和佳能、中国的上海微电子这四家公司可以临蓐光刻机，可是可以临蓐优秀造程的光刻机惟有ASML、尼康和佳能可以供应。固然350nm是一种卓殊成熟的造程，可是还是可能满意局部汽车、能源和通讯行业的芯片需求。

　　莫斯科“泽列诺格勒纳米身手核心”公司总司理阿纳托利科瓦列夫显露：“咱们公司已依照国度合同实行了俄罗斯首台350nm拓扑布局的投影式光刻机的研发管事。这一项目是与白俄罗斯“Planar”工场配合施行实行的。正在2024 年 12 月测试得胜后，这一光刻机就得回了国度委员会的认同，并记载了一共申报的身手特质。目前已有客户添置了这一筑造，现正在这一筑造的工艺流程正按照最终用户对临蓐的卓殊央求举行调治。”

　　报道称，该350nm光刻机的管事区域面积明显添加，抵达了 22mm x 22mm，可加工最大直径为200mm的晶圆。

　　据莫斯科市投资和工业计谋局指出，“泽列诺格勒纳米身手核心”公司已做好了批量临蓐这款350nm光刻机的打定。其余，“泽列诺格勒纳米身手核心”目前还正正在按第二份国度合同不停展开 130 纳米光刻机的研发管事，估计于 2026 年实行。

　　按照此前曝光的预备，2024年俄罗斯将拨款2,114亿卢布（约合黎民币166.16亿元）用于国内电子产物的拓荒，其将席卷可能临蓐350nm造程芯片的光刻机，2026年将实行用于临蓐130nm造程芯片的光刻机。

　　而俄罗斯裁夺拓荒350nm到65nm光刻机的因为，正在于这一身手鸿沟内的芯片多用于微职掌器、电力电子、电信电途、汽车电子等方面上，这些利用约莫霸占了全盘墟市的60%。以是，这类光刻机正在全全国墟市的需求量很大，而且将正在起码10年内有络续的需求。

　　Vasily Shpak此前还曾指出，一个浅易的逻辑即是，倘若没有半导体主权，那就没有身手主权，这将导致国防安定和政当事者权方面就卓殊虚亏。

　　而现正在俄罗斯一经掌管了行使海表国光刻机创造65nm芯片的身手，但由于表国公司被禁止向俄罗斯出口优秀的光刻机，以是俄罗斯也必要主动拓荒自身的光刻机。

　　针莫斯科当局部长兼投资和工业计谋局局长阿纳托利加尔布佐夫评论道：“莫斯科是俄罗斯微电子进展的核心。今朝莫斯科约占俄罗斯微电子企业总营收的40%。微电子学和光子学的进展正在都邑和贸易周围的各个行业都有着宏壮的利用远景，席卷光通讯、传感身手、无线电光子学等诸多偏向。莫斯科科技城经济特区的入驻企业目前正正在施行一系列强大项目，每个项目都旨正在临蓐拥有策略道理的产物。”

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